標(biāo)準(zhǔn)I-V/C-V測試面臨的挑戰(zhàn)

　　產(chǎn)品研發(fā)階段的設(shè)計(jì)工程師采用的仿真模型，包括從s參數(shù)數(shù)據(jù)提取的RF參數(shù)和I-V/C-V數(shù)據(jù)。先進(jìn)的設(shè)計(jì)工具要求的是統(tǒng)計(jì)模型，不是單個(gè)的 一套參數(shù)。這使得良率和功能特性的優(yōu)化成為可能。如果I-V和C-V參數(shù)基于統(tǒng)計(jì)結(jié)果，而RF不是的話，那么這個(gè)模型就是非物理的和不可靠的。

　　在有些情況下，比如電感、I-V和C-V信息的價(jià)值都非常有限。但是，Q在使用的頻率之下，作為功率電感表征和控制的參數(shù)，則具有很高的價(jià)值。I- V和C-V測試中面臨的挑戰(zhàn)是要理解，什么時(shí)候它是產(chǎn)品特性的主要表征，什么時(shí)候不是。許多模擬和無線器件特性的只要表征參數(shù)是Ft和Fmax。理想的情 況下，在第3諧波以外的使用情況下，它們是需要測量并提取出來的RF參數(shù)。對于數(shù)字和存儲(chǔ)器產(chǎn)品，只要器件的模型保持簡化，那么I-V和C-V對于有源和 無源器件來說都是很有價(jià)值的測量項(xiàng)目。前面提到的，柵介質(zhì)的測量具有復(fù)雜的C-V模型。

　　采用RF/RF C-V的顧慮

　　不可靠的測試會(huì)阻礙生產(chǎn)管理。好器件的壞測量結(jié)果被稱為alpha錯(cuò)誤。在生產(chǎn)中，這可能意味著有晶圓被誤廢棄。讓人誤解的ITRS信息，以及 許多公司在他們的建模實(shí)驗(yàn)室經(jīng)歷緩慢、艱苦的過程，這些結(jié)合起來都使得工程師不情愿采用量產(chǎn)RF測試，他們認(rèn)為會(huì)有高的alpha錯(cuò)誤率。

　　人們還認(rèn)識(shí)到生產(chǎn)能力和運(yùn)營成本將是不可接受的，而且還需要高水準(zhǔn)的技術(shù)支持來解釋測量結(jié)果。沒有可靠的校準(zhǔn)、以及接觸電阻問題所帶來的重復(fù)測 試，造成了早期的RF系統(tǒng)的低生產(chǎn)能力。過去舊系統(tǒng)的校準(zhǔn)并不是對不同的測量頻率配置都有效。高的運(yùn)營成本還與手動(dòng)測試黃金標(biāo)準(zhǔn)校正片有關(guān)系，它用的是軟 墊和昂貴的RF探針，這種探針會(huì)由于過度壓劃而很快壞掉，從而成本大增。市場上還有一種錯(cuò)誤的理解，認(rèn)為晶圓級(jí)的s參數(shù)測試需要專門的探針和卡盤。

　　生產(chǎn)中關(guān)于RF測試需要額外關(guān)注的方面：

　　● 需要改變大量的測試結(jié)構(gòu)。

　　● 結(jié)果不穩(wěn)定，隨設(shè)備、人和時(shí)間的變化而發(fā)生變化。

　　● RF專家必須照顧呵護(hù)每一臺(tái)設(shè)備。

　　● 對于不同的批次可能需要完全不同的處理和操作流程。

　　● 懷疑這是否能夠成為實(shí)時(shí)技術(shù)。

　　● 實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的結(jié)果不可靠。

　　fab在這些認(rèn)知的基礎(chǔ)上仍然維持現(xiàn)狀，像“瞎蒼蠅”一樣進(jìn)行著RF芯片、新柵極材料和其他先進(jìn)器件的設(shè)計(jì)和工藝開發(fā)。結(jié)果是設(shè)計(jì)與工藝的相互作用，大大增加了成本和走向市場的時(shí)間，同時(shí)還伴隨著更低的初始良率。

　　聯(lián)系電話梁生