豐田合成環(huán)保車與功率半導(dǎo)體產(chǎn)品系列

　　豐田合成積極推廣環(huán)保車，包含電動車與燃料電池車。mirai是豐田新推出的fcv，提供足夠電力供應(yīng)，自有生產(chǎn)sic功率半導(dǎo)體，可承受高開關(guān)頻率，大輸出電壓為650v，透過motor電壓提升，減少電池使用數(shù)量，也使得體積與重量更能大幅減輕，提升燃料電池使用效能。

　　三五族類比半導(dǎo)體的設(shè)備市場需求

　　因應(yīng)功率半導(dǎo)體與微波通訊的市場需求，evatec推出濺鍍與蒸鍍設(shè)備機(jī)臺。evatec為瑞士制造公司并于去年收購了歐瑞康半導(dǎo)體事業(yè)部門，其推出的濺鍍與蒸鍍機(jī)臺用于功率半導(dǎo)體和無線寬帶通訊的微波高科技領(lǐng)域中，evatec有強(qiáng)大的制程知識和全球大的市占率.設(shè)備主要講求控制系統(tǒng)的度和穩(wěn)定性，同時開發(fā)出4、6、8吋的平臺供制造廠商使用。

　　設(shè)備優(yōu)勢上，擁有穩(wěn)定生產(chǎn)力和低的總擁有成本。首先、此設(shè)備機(jī)臺可以使用150mm（6吋基板）與160mm的載板，在客戶使用彈性上大大升級。工藝條件上涵蓋了tan-tfr與llift-off制程，不用拆分兩個設(shè)備，節(jié)省了制造時間與機(jī)臺設(shè)備空間。除此之外，獨(dú)特可以調(diào)整靶材到基板（t-s）的距離，加上機(jī)臺可以同時進(jìn)行dc直流濺鍍和rf射頻磁控濺鍍的操作，大大便利了制程工藝的調(diào)整。

　　主要膜層tan的均勻性，為正負(fù)2%，同時tcr<100ppm/k；stress<正負(fù)200mpa；產(chǎn)能40–60wph。tiw/au產(chǎn)能30–45wph并保證基板溫度小于90度c這都?xì)w功于獨(dú)特的動態(tài)鍍膜方式和主動式冷卻方案。

　　目前使用客戶包含主要?dú)W美國際廠商，看好中國功率半導(dǎo)體（power device）與無線通信的微波（rf device）設(shè)備市場，evatec將大幅增加市場銷售布局。

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　　功率電感,繞線電感,一體成型大電流電感,插件電感,電感線圈,共模電感